Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology

Please use this identifier to cite or link to this item: http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/33195

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Nguyen, Duc Luan
dc.date.accessioned	2023-12-12T08:52:56Z	-
dc.date.available	2023-12-12T08:52:56Z	-
dc.date.issued	2021
dc.identifier.uri	https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=332125	en
dc.identifier.uri	http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/33195	-
dc.language.iso	vi	en
dc.relation.ispartofseries	Khoa học và Công nghệ (Đại học Công nghiệp Hà Nội) - 2021 - no.SĐB - tr.74-77 - ISSN.1859-3585	en
dc.subject	Khoa học và Công nghệ (Đại học Công nghiệp Hà Nội)	en
dc.title	Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology	en
dc.type	Article	en
item.openairetype	Article	-
item.openairecristype	http://purl.org/coar/resource_type/c_18cf	-
item.grantfulltext	restricted	-
item.fulltext	Có toàn văn	-
item.languageiso639-1	vi	-
item.cerifentitytype	Publications	-
Appears in Collections:	Báo - Tạp chí

File	Size	Format	Existing users please Login
CVt70V57SDB2021074.pdf	1.75 MB	Adobe PDF

CORE Recommender

Check